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组委会经研究决定于2021年12月12日、13日召开国际先进光刻技术研讨会,会议地点不变。报名已截止。

请您随时关注大会官网(http://www.iwaps.org/cn/)和“光刻人的世界”微信公众号,感谢您的理解与支持!




会议报到处,需要查验健康码、行程码、签署健康申报个人承诺书、48小时核酸阴性证明。(核酸以检测时间算起,报到处需要拍照留存,请您结合出行时间提前安排测核酸。)


2021.12.06更新版

入住注意事项:
1.  不在疫情风险等级表的地区: 绿码+行程卡
2.  疫情风险等级表里面的地区:48小时核酸+绿码+行程卡+居家隔离三天(自离开风险地区之日开始计算)同时需要“三天两检”。
3.  所有的“黄码”+“红码”,不接待。
4.  针对目前上海,参照之前的北京市,上海相当于省,2个区(浦东新区、青浦区)是起码3+11,前3天要居家3天2检(到佛山其他酒店做3天2检),其他地区绿码+行程即可。
5.  今日出现的近14天行程卡凡是经过广州的都会带有*号,居委电话告知仍然需3(3天两检)+11(11天健康监测),但是这个要求目前并无文件支持,目前,我们在接待时如果近14天有经过该街道的客人将告知3天2检的要求,如没有经过,将正常要求绿码+行程卡即可登记。 酒店会继续和居委保持联系并实时更新广州白云的管控信息,各位对此有任何疑问请第一时间与酒店大堂联系。
6.疫情风险和要求随时变动,如您对上述内容有疑问,请提前咨询当地居委会或酒店:

(1)石湾防疫应急指挥中心,地址:佛山市禅城区汾江中路123号。联系电话:0757 83939115;
(2)东平居委会,地址,禅城区港口路14号1座首层。联系电话:0757 83072911;0757 82589446;
(3)  希尔顿酒店:0757-83069999(总机)转前台


注册费:

2400元/人;

在校学生1200元/人;

中国集成电路创新联盟、中国光学学会、中国电子学会成员单位1800元/人;

光刻专委会会员1800元/人;

早鸟价(9月30日前缴费)2000元/人

酒店房间预订请联系,郑茵兰15392020082

我们会通过邮件和您联系以确认基本信息以及后续缴费、住宿等事宜,请及时关注邮箱。如长时间无邮件回复,亦可联系010-82995816


此处下载会议通知

IWAPS 论文主题

IWAPS致力于发表前沿的微电子制造技术研究成果。会议主题涵盖先进半导体制造领域中从早期的理论和实验,到工业化大规模量产的应用等内容。包括但不局限于:

  • 光刻
  • 极紫外光刻
  • 新型技术
  • 量测及缺陷检测
  • 设计工艺联合优化(DTCO)与可制造性设计(DFM)
  • 材料
  • 器件
  • 工艺

摘要要求

摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。

摘要必须包括以下内容:论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时,我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。(论文摘要模板)

在截止日期之后提交的摘要将根据具体情况进行审议。


全文要求

论文摘要被接收后,作者需要按照全文模板的要求提交最终论文。论文全文需限制在4页以内。请在截止日期前将您的最终论文以WordPDF版本发送至iwaps_program@ime.ac.cn

论文全文模板

本届会议论文将被送检IEEE Xplore及EI,请务必在截止日期前投稿全文,否则不予送检,请严格参考模板格式,全文篇幅限制在4页内。

如全文篇幅超过四页,我们建议在提交符合会议要求的全文版本同时提交长文版本,我们会在全文版本送检IEEE Xplore与EI的同时将长文版本推荐到《Journal of Microelectronic Manufacturing》期刊上发表,我们也欢迎作者在对会议全文扩充理论或实验内容后投稿到本期刊。



JoMM是由中国科学院微电子研究所创办的国际化同行评议学术期刊,旨在发表集成电路制造领域中从实验室理论阶段到工业化大规模量产阶段的研究成果。JoMM 现征2021年各期稿件。JoMM追求高效的出版周期,文章一经接收将马上上线,并免2021年版面费,欢迎投稿!

JoMM 网站: www.jommpublish.com


Presentation要求

口头报告:

被选作进行口头报告的作者,应当参加2021年的IWAPS 会议并用英文进行15分钟与论文相关的技术报告。演讲者应当预先提供其会议报告的PPTPPT应于20211015日前发送至邮箱iwaps_program@ime.ac.cn


海报展示:

被选作进行海报展示的作者,可于展示当日上午9点起张贴海报。展板上将印有按序排列的论文编号,请按论文编号将海报张贴在相应位置。会场将提供图钉用于海报张贴。

关于 Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM, ISSN: 2578-3769)

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