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会议通知文件正在准备中,请大家耐心等待。

征稿启事

摘要提交截止日期: 2020815 摘要接收通知日期: 2020831

全文稿件截止日期: 2020年1031

Email: iwaps_program@ime.ac.cn

IWAPS 论文主题

IWAPS致力于发表前沿的微电子制造技术研究成果。会议主题涵盖先进半导体制造领域中从早期的理论和实验,到工业化大规模量产的应用等内容。包括但不局限于:


ii. 极紫外光刻
iii. 新型技术
iv. 量测及缺陷检测
v. 设计工艺联合优化(DTCO)与可制造性设计(DFM)
vi. 材料
vii. 器件
viii. 工艺


接收的会议稿件择优将于《Journal of Microelectronic Manufacturing》上全文发表

摘要要求

摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。

摘要必须包括以下内容:论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时,我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。(论文摘要模板

在截止日期之后提交的摘要将根据具体情况进行审议。


Presentation要求

口头报告:

被选作进行口头报告的作者,应当参加2020年的IWAPS 会议并用英文进行15分钟与论文相关的技术报告。演讲者应当预先提供其会议报告的PPTPPT应于20201031日前发送至邮箱iwaps_program@ime.ac.cn


海报展示:

被选作进行海报展示的作者,可于展示当日上午9点起张贴海报。展板上将印有按序排列的论文编号,请按论文编号将海报张贴在相应位置。会场将提供图钉用于海报张贴。

关于 Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM, ISSN: 2578-3769)

JoMM是由中国科学院微电子研究所创办的国际化同行评议学术期刊,旨在发表集成电路制造领域中从实验室理论阶段到工业化大规模量产阶段的研究成果。JoMM 现征2020 年各期稿件。JoMM追求高效的出版周期,文章一经接收将马上上线 ,并免2020年版面费,欢迎投稿!

JoMM 网站: www.jommpublish.com


注册费:

2400元/人;

在校学生1200元/人;

集成电路产业技术创新联盟单位1800元/人;

早鸟价(9月30日前缴费)2000元/人

我们会通过邮件和您联系以确认基本信息以及后续缴费、住宿等事宜,请及时关注邮箱。如长时间无邮件回复,亦可联系010-82995816

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